在火花放电的过程中，一般会使用氩气做为保护气体，来喷刷包围火花所及范围的金属表面，这样才能让光谱仪读到各个元素正确的成分与比例。使用氩气主要的原因是其惰性气体的特性。在高能量火花激发金属表面，产生电浆的过程中，惰性气体本身不会与电浆中的元素反应，并同时隔离周遭的空气中的元素，这样才得以精准侦测那些特征峰值在波长200nm
以下的元素，如，碳、氮、硫、磷。
以下是直读光谱仪需采用高纯度氩气做为保护气体的主要理由：
1.氩气属于惰性气体，在直读光谱仪放电过程中，不会与合金成分产生反应
2.在火花放电过程，喷刷金属表面以隔离周遭空气，避免侦测到空气中的元素
3.让光谱仪能够正确分析特征峰值在波长200nm
以下的元素，如，碳、磷、硫、氮
4.金属合金元素成分中，不需要知道氩元素
5.氩气的价格相对便宜，基本上，氩气<氦气<氖气<氙气
三种惰性气体常见用途
氦气：超低温冷却、气相沉积、气球、潜水服填充。
氖气：霓虹灯或水银灯填充、激光（氦氖激光）、电浆研究。
氩气：金属焊接、合金分析仪。
